Немецкая компания  Micro-Epsilon   www.micro-epsilon.com   предложила миниатюрный ёмкостный датчик для субмикронных измерений. Ёмкостный датчик capaNCDT CSE01:

Основные параметры:

-габарит датчика – диаметр 3 mm, длина 15,6 mm,
-рабочие дистанции до 0,15 mm,
-разрешение до 0,08 nm,
-линейность  + 0,3 µm,
-рабочие температуры  -50 … 200 °C,
-герметизация IP40,
-датчик совместим с контроллером того же производителя Micro-Epsilon.
Основные применения – в приводах субмикронных точностей.

The German company Micro-Epsilon  www.micro-epsilon.com  has proposed a miniature capacitive sensor  capaNCDT CSE01  for submicron measurements.

Main parameters:

- sensor size diameter 3 mm, length 15.6 mm,
-working distances up to 0.15 mm,
-resolution up to 0.08 nm,
-linearity +  0.3 µm,
-operating temperatures -50 … 200 °C,
-sealing IP40,
-the sensor is compatible with the controller of the same Micro-Epsilon manufacturer.
The main applications are in submicron precision drives.

Источник (source): https://www.micro-epsilon.com/download/products/dat--capaNCDT-CSE01-CSE025--de.pdf#zoom=Fit