Высокоточные привода, например, в электронной промышленности достигли способности создавать перемещения с точностями десятки и даже единицы наномеров. Поступают сообщения, что идёт строительство заводов для производства больших интегральных схем с технологическими нормами 1,5 … 2 нанометра. Значит, есть реальные потребности в контроле линейных перемещений порядка единиц нанометров. Очевидно, что никакими контактными способами такого уровня разрешения, точности не достичь.

Компания Baumer предлагает решать задачи с нанометровыми уровнями точностей при помощи индуктивных датчиков, которые могут измерять дистанции до вихретоковых (чаще – металлических) объектов в диапазонах расстояний до объектов: 0,5 … 1,5 mm; 0 …2 mm; 0 … 3 mm.
Производитель сообщает, что высокоточный индуктивный датчик для дистанций 0,5 … 1,5 mm имеет наилучшее разрешение 4 нанометра.
Речь о датчике IPRM 12I9504/S14  article № 11017454 :

                                                         
 

Основные параметры этого датчика:

-рабочие дистанции 0,5 … 1,5 mm, монтаж «почти заподлицо» (выступание 1 mm),
-наилучшее разрешение (в середине диапазона) 4 nm,
-разрешение статическое (перемещения до 10 Hz), не хуже 10 nm,
-разрешение динамическое (перемещения до 520 Hz), не хуже 60 nm,
-быстродействие: измерение перемещений до скоростей 1 mm / ms,
-нелинейность +/- 50 µm,
-повторяемость не хуже 1 µm,
-питание 15 … 30 V DC,
-выход токовый 0 … 20 mA,
-корпус из стали,
-чувствительная поверхность закрыта керамикой,
-рабочие температуры 0 … + 60 °C,
-защита корпуса IP 67,
-корпус с заземлением, габарит М12, длина корпуса 90 mm,
-встроенный разъём М12, 4 контакта,
-встроенной индикации нет.

Ориентир цены 400 €.

Источник:  https://www.baumer.com/ch/en/product-overview/distance-measurement/inductive-distance-sensors/high-precision-and-sensitivity/high-precision-/c/13449/products